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  • 半導(dǎo)體量測(cè)領(lǐng)域新增量測(cè)設(shè)備!中圖儀器無圖晶圓幾何量測(cè)系統(tǒng)正式發(fā)布

    2024-02-29 在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點(diǎn),往往需要對(duì)wafer進(jìn)行厚度(THK)、翹曲度(Warp)、膜厚、關(guān)鍵尺寸(CD)、套刻(Overlay)精度等量測(cè),以及缺陷檢測(cè)等;用于檢測(cè)每一步工藝后wafer加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),以及缺陷閾值下限,從而進(jìn)行工藝控制與良率管理。半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備,要求精度高、效率高、重復(fù)性好,量檢測(cè)設(shè)備一般會(huì)涉及光電探測(cè)、精密機(jī)械、電子與計(jì)算機(jī)技術(shù),因此在半導(dǎo)體設(shè)備中,技術(shù)難度高。在wafer基材加工階段,從第一代硅,第二代砷化鎵到第三代也是現(xiàn)階...
  • 央視授獎(jiǎng)!從納米到百米,“專精特新·年度高人”花落中圖儀器

    2024-01-30 央視授獎(jiǎng)!從納米到百米,“專精特新?年度高人”花落中圖儀器1月29日晚間,由中央廣播電視總臺(tái)傾力打造的“創(chuàng)新引領(lǐng)新型工業(yè)化2023專精特新·制造強(qiáng)國年度盛典”在央視CCTV2重磅播出,深圳市中圖儀器股份有限公司(以下簡稱“中圖儀器”)馬俊杰先生榮膺“專精特新·年度高人”獎(jiǎng)項(xiàng)。本次盛典為央視財(cái)經(jīng)頻道“專精特新·制造強(qiáng)國”大型融媒體活動(dòng)的收官之作。據(jù)悉,自去年7月啟動(dòng)以來,央視財(cái)經(jīng)節(jié)目中心共跨越了5省28座城市,走訪了400多家企業(yè),以“專精特新·絕活”和“專精特新·高人”為主題...
  • 迎亞太計(jì)量規(guī)劃組織來訪,服務(wù)全球制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

    2023-12-01 第39屆亞太計(jì)量規(guī)劃組織全體大會(huì)(簡稱APMP大會(huì))于11月27日在深圳隆重召開。11月28日下午,來自馬來西亞、泰國、越南、澳大利亞、新西蘭、韓國、印度,印度尼西亞等多個(gè)國家的計(jì)量專家學(xué)者蒞臨中圖儀器參觀指導(dǎo),近距離感受中國制造精密計(jì)量檢測(cè)儀器的魅力。亞太計(jì)量規(guī)劃組織(APMP)是亞太地區(qū)的計(jì)量合作組織,是國際計(jì)量委員會(huì)認(rèn)可的全球六個(gè)區(qū)域計(jì)量組織之一。截止至2023年2月,APMP共有來自27個(gè)經(jīng)濟(jì)體的45個(gè)正式成員機(jī)構(gòu)和來自13個(gè)經(jīng)濟(jì)體的14個(gè)附屬成員機(jī)構(gòu)。APMP大會(huì)既...
  • 使用三維表面輪廓儀進(jìn)行測(cè)量通常包括以下步驟

    2023-11-24 三維表面輪廓儀是利用光學(xué)或激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量。它通過發(fā)射特定的光線(通常是激光束)到被測(cè)物體表面,并記錄光線的反射或散射情況。利用光學(xué)傳感器或相機(jī)來捕獲并分析這些數(shù)據(jù),進(jìn)而生成物體的三維模型和輪廓圖。這種非接觸式的測(cè)量方法不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷,并且能夠在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量大量的樣本。具有高的精度和準(zhǔn)確性,能夠測(cè)量微米級(jí)甚至更小尺度的表面形貌。它可以用于測(cè)量各種材料的平面、曲面、邊緣等特征,并提供詳細(xì)的表面形態(tài)圖像和數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)對(duì)于產(chǎn)品設(shè)計(jì)、質(zhì)量控制和工藝改進(jìn)都非常重要。使...
  • 三維表面輪廓儀在保養(yǎng)方面有哪些事項(xiàng)呢?

    2023-11-22 三維表面輪廓儀是利用光學(xué)或激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量。它通過發(fā)射特定的光線(通常是激光束)到被測(cè)物體表面,并記錄光線的反射或散射情況。利用光學(xué)傳感器或相機(jī)來捕獲并分析這些數(shù)據(jù),進(jìn)而生成物體的三維模型和輪廓圖。這種非接觸式的測(cè)量方法不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷,并且能夠在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量大量的樣本。具有高的精度和準(zhǔn)確性,能夠測(cè)量微米級(jí)甚至更小尺度的表面形貌。它可以用于測(cè)量各種材料的平面、曲面、邊緣等特征,并提供詳細(xì)的表面形態(tài)圖像和數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)對(duì)于產(chǎn)品設(shè)計(jì)、質(zhì)量控制和工藝改進(jìn)都非常重要。三...
  • 直播預(yù)告|DMP大灣區(qū)工博會(huì)11月27-30日盛大開幕,中圖儀器驚艷亮相

    2023-11-22 年末大展,工業(yè)制造領(lǐng)域盛會(huì)-DMP大灣區(qū)工博會(huì)將于11月27-30日在深圳國際會(huì)展中心盛大開啟!12大展館,24萬平方米展出面積,2100余家展商向行業(yè)觀眾展示新技術(shù)、創(chuàng)新產(chǎn)品。中圖儀器為工業(yè)制造客戶提供全尺寸鏈精密測(cè)量儀器及設(shè)備,服務(wù)產(chǎn)業(yè)質(zhì)量提升,助力裝備制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。本次工博會(huì)多款明星產(chǎn)品悉數(shù)亮相,讓廣大客戶近距離體驗(yàn)國產(chǎn)先進(jìn)尺寸測(cè)量儀器的魅力。DMP大灣區(qū)工博會(huì)時(shí)間:2023年11月27日-30日地點(diǎn):深圳國際會(huì)展中心(寶安新館)展位:3號(hào)館3E05展品速遞部分客戶...
  • 國家重點(diǎn)“六自由度激光自動(dòng)精準(zhǔn)跟蹤測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)”項(xiàng)目通過驗(yàn)收

    2023-09-28 9月26日,中圖儀器牽頭的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃——“六自由度激光自動(dòng)精準(zhǔn)跟蹤測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)”的項(xiàng)目綜合績效評(píng)價(jià)會(huì)議在深圳順利召開。本項(xiàng)目瞄準(zhǔn)我國航空航天、汽車船舶、軌道交通、機(jī)器人、核電、大科學(xué)裝置等裝備制造領(lǐng)域?qū)ψ藨B(tài)測(cè)量傳感與測(cè)量系統(tǒng)的重大需求,自主研發(fā)的六自由度激光精準(zhǔn)跟蹤測(cè)量系統(tǒng),增加了我國核心測(cè)量儀器的自主可控能力。會(huì)議期間,專家組詳細(xì)審閱了項(xiàng)目相關(guān)材料、聽取了項(xiàng)目執(zhí)行情況匯報(bào),觀看了項(xiàng)目成果及應(yīng)用情況視頻。經(jīng)專家組質(zhì)詢和討論,認(rèn)為項(xiàng)目按時(shí)全面完成了任務(wù)書的4項(xiàng)課題研究內(nèi)容...
  • 2023深圳光博會(huì)|展出光電前沿創(chuàng)新技術(shù),中圖儀器驚艷亮相5號(hào)館

    2023-09-08 第24屆中國國際光電博覽會(huì)于9月6-8日,在深圳國際會(huì)展中心(寶安)舉辦,匯聚了來自全球的3000余家優(yōu)質(zhì)展商。同期七展覆蓋信息通信、精密光學(xué)、攝像頭技術(shù)及應(yīng)用、激光、紅外、紫外、智能傳感、新型顯示等版塊,并著力光電行業(yè)和下游九大應(yīng)用領(lǐng)域之間打造集商貿(mào)洽談、國際交流及品牌展示為一體的專業(yè)交流平臺(tái)。推動(dòng)行業(yè)商貿(mào)繁榮是CIOE中國光博會(huì)發(fā)展的原動(dòng)力,中圖儀器參展商在5號(hào)館5B15展示光電行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)及測(cè)量解決方案,與買家、行業(yè)專家共聚一堂,促行業(yè)交流,展行業(yè)碩果,共同為全球光...
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