两个小婕子和我做受hd,熟妇人妻无码XXX视频,亚洲av无码色情第一综合网,欧美乱妇无码毛片斯巴达三百勇士

0755-83318988
PRODUCTS CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專業(yè)檢測設(shè)備晶圓形貌測量系統(tǒng)WD4000晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)
晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

WD4000晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

產(chǎn)品型號:WD4000
更新時間:2024-06-25
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:788
詳細(xì)介紹在線留言

WD4000晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)

WD4000晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。

1、使用光譜共焦對射技術(shù)測量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數(shù),同時生成Mapping圖;

2、采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面形貌、粗糙度及相關(guān)3D參數(shù);

3、基于白光干涉圖的光譜分析儀,通過數(shù)值七點(diǎn)相移算法計算,達(dá)到亞納米分辨率測量表面的局部高度,實(shí)現(xiàn)膜厚測量功能;

4、紅外傳感器發(fā)出的探測光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此計算出兩表面間的距離(即厚度),可適用于測量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度,包括碳化硅、藍(lán)寶石、氮化鎵、硅等。


測量功能

1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù);結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷。

晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組,使用一臺機(jī)器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。

2、高精度厚度測量技術(shù)

(1)采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對Wafer進(jìn)行高效掃描。

(2)搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤,晶圓規(guī)格最大可支持至12寸。

(3)采用Mapping跟隨技術(shù),可編程包含多點(diǎn)、線、面的自動測量。

3、高精度三維形貌測量技術(shù)

(1)采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;

(2)隔振設(shè)計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲,獲得高測量重復(fù)性。

(3)機(jī)器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點(diǎn),虛擬夾具擺正樣品,可對多點(diǎn)形貌進(jìn)行自動化連續(xù)測量。

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺

(1)大行程龍門結(jié)構(gòu)(400x400x75mm),移動速度500mm/s。

(2)高精度花崗巖基座和橫梁,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。

(3)關(guān)鍵運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動,搭配分辨率0.1μm的光柵系統(tǒng),保證設(shè)備的高精度、高效率。

5、操作簡單、輕松無憂

(1)集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準(zhǔn)工作。

(2)具備雙重防撞設(shè)計,避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

(3)具備電動物鏡切換功能,讓觀察變得快速和簡單。


應(yīng)用場景

1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)

通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。


2、無圖晶圓粗糙度測量

晶圓測量設(shè)備幾何形貌測量系統(tǒng)

Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。


部分技術(shù)規(guī)格

品牌CHOTEST中圖儀器
型號WD4000
厚度和翹曲度測量系統(tǒng)
可測材料砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍(lán)寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等
測量范圍150μm~2000μm
掃描方式Fullmap面掃、米字、自由多點(diǎn)
測量參數(shù)厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度
三維顯微形貌測量系統(tǒng)
測量原理白光干涉
干涉物鏡10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個)
可測樣品反射率0.05%~100
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
測量參數(shù)顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數(shù)
膜厚測量系統(tǒng)
測量范圍90um(n= 1.5)
景深1200um
最小可測厚度0.4um
紅外干涉測量系統(tǒng)
光源SLED
測量范圍37-1850um
晶圓尺寸4"、6"、8"、12"
晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
X/Y/Z工作臺行程400mm/400mm/75mm

請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7

關(guān)注公眾號,了解最新動態(tài)

關(guān)注公眾號
0755-83318988

Copyright © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司版權(quán)所有

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

備案號:粵ICP備12000520號

亚洲精华国产精华精华液好用吗| 午夜精品久久久久久久| wwxx在线观看免费| 久久中文字幕人妻熟AV女| 啊灬啊灬啊灬快灬高潮少妇a片| 国产一区二区三区美女| 丰满少妇被猛烈进入| 国产AV午夜精品一区二区入口| 国产精品久久久久精品三级| 在车里掀起乳罩啃咬奶头| 国产人妖乱国产精品人妖| 97免费人妻在线视频| 国产香蕉尹人视频在线| 色欲久久久天天天综合网精品| 日本做受高潮好舒服视频| 少妇仑乱A毛片无码| 老太性开放bbwbbwbbw| 国产精品久久无码一区二区三区网| av在线免费观看| 精品人妻久久久久久888| 欧洲美女多人群交视频| 天美传媒mv在线看免费下载安装| mm131巨爆乳美女少妇动态图| 欧美午夜精品久久久久久| 国产精品videossex久久| 无码人妻精品一区二区三区不卡| 国产真实伦熟女实例hd| 久久精品国产亚洲av香蕉高清 | 日本乱偷人妻中文字幕在线| 一本一本久久A久久综合精品蜜桃| 巨茎人妖自慰出精| 国产乱码精品一区二区三区香蕉| 久久久久亚洲AV无码网站| 亚洲色少妇熟女11p| 毛片24种姿势无遮无拦| 野花日本hd免费高清版1| 邻居的丰满人妻hd学生| 国产产无码乱码精品久久鸭| 极品人妻老师的娇喘呻吟| 国产xxx69麻豆国语对白 | 久久婷婷激情综合色综合俺也去|