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國產(chǎn)白光干涉顯微鏡

簡要描述:SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1056

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,電氣,綜合

SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

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產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

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應(yīng)用行業(yè)

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例

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自動拼接功能特點

根據(jù)精度要求,SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

EPSI重建算法.jpg

需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度時,表面較為粗糙且定測量區(qū)域情況下,可使用高速FVSI算法,并在拼接測量設(shè)定時,使用地圖導(dǎo)航功能,在掃描時即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量。

地圖導(dǎo)航功能.jpg

SuperviewW1白光干涉儀自動拼接測量功能不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu),當要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,可以根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換。

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