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產(chǎn)品中心

當前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀
數(shù)控機床激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1657
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中圖儀器SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀是國產(chǎn)光學干涉儀品牌,可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。


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技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″


產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;

(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);

(5)SJ6000激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。

傳感器線性精度測量


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖800.jpg

▲主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀測量分辨率可達0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。

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