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白光干涉顯微輪廓儀

簡要描述:SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;以白光干涉技術(shù)為原理,可對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1245

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
重量150kg應(yīng)用領(lǐng)域綜合

SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,可對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。


國產(chǎn)白光干涉儀品牌,白光光學(xué)輪廓儀.jpg

產(chǎn)品功能

1)SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


國產(chǎn)白光干涉儀品牌,白光光學(xué)輪廓儀.jpg


輪廓分析步驟:

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;

2.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);

3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;

4.微調(diào)XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋;

5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;

6.點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);

7.臺階樣品分析第一步:校平;

8.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“校平"圖標(biāo),和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準(zhǔn)區(qū)域,選好基準(zhǔn)區(qū)域后,先“全部排除"再“包括";

9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平;

10.臺階高度測量:線臺階高度測量

11.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺階高度"圖標(biāo),即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數(shù)據(jù);

12.在右側(cè)點(diǎn)擊“手動檢測",根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值;

13.臺階高度測量:線臺階高度測量

14.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面"圖標(biāo),使用合適方向的剖面線,提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線;

15.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺階高度"圖標(biāo),由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度,因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄,測量條對數(shù)選擇“2",將紅色基準(zhǔn)線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。


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