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3d光學(xué)表面輪廓儀器

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SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),主要用于質(zhì)量控制和檢測(cè)應(yīng)用。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1672
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專(zhuān)注于質(zhì)量控制和不斷增長(zhǎng)的工業(yè) 4.0推動(dòng)了 3D測(cè)量市場(chǎng)的增長(zhǎng)。3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),主要用于質(zhì)量控制和檢測(cè)應(yīng)用。在汽車(chē)、建筑和建筑、醫(yī)療、半導(dǎo)體和電子、能源和電力、重型機(jī)械、采礦等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。


SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。


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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器的重建算法能自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件;也支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um。在半導(dǎo)體等超精密加工行業(yè)中有著重要作用。


如半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域主要是檢測(cè)硅片的表面粗糙度,也是采用從批量硅片中抽若干片進(jìn)行檢測(cè)的方式進(jìn)行,在抽檢的硅片上抽點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè),主要需求參數(shù)為粗糙度,其次為臺(tái)階高。


硅晶圓粗糙度測(cè)量.jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè).jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)


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