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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測(cè)量儀激光干涉儀平面光學(xué)激光干涉儀
平面光學(xué)激光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2039
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。


產(chǎn)品型號(hào):SJ6000

穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

線性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測(cè)量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力:1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz

預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%

主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便


產(chǎn)品型號(hào): SJ6800

穩(wěn)頻方式: 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度: 0.04ppm

測(cè)量距離:≤(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

測(cè)量分辨力:1nm

測(cè)量最大速度:4m/s

線性測(cè)量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃

角度測(cè)量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測(cè)量距離,單位:m)

主要特點(diǎn):絕對(duì)測(cè)量、恒測(cè)力、無阿貝誤差


中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″,系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。


500.jpg


中圖激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、垂直度、角度、直線度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


如數(shù)控機(jī)床的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會(huì)使其精度下降,當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。


對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償.jpg



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