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雙物鏡白光干涉儀

簡(jiǎn)要描述:中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

  • 更新時(shí)間:2024-05-11
  • 產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問(wèn)  量:1360

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,冶金,航天

中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等,可廣泛應(yīng)用于3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中。


在少數(shù)需要檢測(cè)超精密器件表面全貌的場(chǎng)景中,SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的自動(dòng)拼接功能,能快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。

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如一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件,其表面有高反、超光滑、凹面弧形特征,用于微小位移和角度檢測(cè)。針對(duì)其凹面弧形的檢測(cè)需求,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡這兩個(gè)顯微測(cè)量?jī)x器中,均分別因有損測(cè)量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀,能同時(shí)滿足無(wú)損、超高分辨率、耐高反等條件。


旋轉(zhuǎn)拋物面零件.jpg


針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

EPSI重建算法.jpg


深圳市中圖儀器科技有限公司致力于精密計(jì)量、檢測(cè)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。現(xiàn)擁有2千平方米的現(xiàn)代化科研辦公場(chǎng)地及3千平方米的精密加工、裝配基地,配備了科研設(shè)施和精密加工設(shè)備,按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品。



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