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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x白光干涉儀SuperView W1中圖儀器白光干涉儀
中圖儀器白光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板,提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,可實(shí)現(xiàn)對(duì)精密工件微觀形貌的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1
更新時(shí)間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:2021
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器白光干涉儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。只需要操作者裝好被測(cè)工件,在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù),把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面,選擇自動(dòng)聚焦后,儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像,一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。


工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。


500白光干涉原理.jpg


產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱(chēng):光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測(cè)樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、快速高效


標(biāo)準(zhǔn)配置

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可選配置

500可選配置.jpg


應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電、為納米材料、光學(xué)加工、超精密加工、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析。


650應(yīng)用行業(yè).jpg

550應(yīng)用領(lǐng)域0.jpg


應(yīng)用案例

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


550應(yīng)用案例0.jpg


中圖儀器白光干涉儀數(shù)秒內(nèi),可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見(jiàn)的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)?!耙?jiàn)一葉而知深秋,窺一斑而見(jiàn)全豹" 這句話用來(lái)形容中圖儀器在超精密加工顯微測(cè)量場(chǎng)景中發(fā)揮的作用恰如其分。



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