中圖儀器NS系列接觸式臺階儀是利用光學干涉原理,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。是一種接觸式表面形貌測量儀器。
中圖儀器VT6000國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SuperViewW1白光干涉儀三維形貌儀具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。
NS200國產(chǎn)臺階儀品牌可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
SuperViweW1白光干涉三維輪廓儀chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型,其3D重建算法,自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別,讓3D測量變得簡單。
中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像。
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