NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
SuperViewW1白光干涉微觀形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
VT6000高分辨率聚焦顯微鏡自設(shè)計之初,便定下了“簡單好用”四字方針的目標(biāo)。結(jié)構(gòu)簡單:儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計.
中圖儀器NS200臺階儀國產(chǎn)品牌是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。廣泛應(yīng)用于:大學(xué)、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。
中圖儀器NS系列表面臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
SuperViewW系列3D形貌白光干涉儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。
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