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SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以得到理想的測量結(jié)果。

SJ5700E粗糙度輪廓表面測量儀為全自動測量設(shè)備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設(shè)定掃描的開始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊【開始】按鈕，測針會自動接觸工件表面，并按設(shè)定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價(jià)參數(shù)即可進(jìn)行評價(jià)。系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

中圖粗糙度輪廓測量儀SJ5700S高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：滿足被測件測量精度要求?？蓽y量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。還可對各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測試評定；可對平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測試，并實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)測量。

SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。