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SJ5800粗糙度輪廓測(cè)量復(fù)合機(jī)采用超高精度納米衍射光學(xué)轉(zhuǎn)軸測(cè)量系統(tǒng)及高精度直線光柵，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，專業(yè)測(cè)試軸承內(nèi)外側(cè)。分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無需切換模塊。

中圖儀器SuperViewW1輪廓尺寸測(cè)量儀器設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能。它能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SJ5800表面接觸式輪廓儀粗糙度檢測(cè)儀器具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無需切換模塊。是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。

中圖儀器SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測(cè)儀基于白光干涉原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5800接觸式輪廓儀粗糙度儀器可以對(duì)零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測(cè)，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。如分別對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵零部件節(jié)溫器內(nèi)筒、氣門搖臂及凸輪軸進(jìn)行高精度輪廓參數(shù)檢測(cè)。

中圖儀器SuperViewW白光表面3d輪廓儀的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。