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激光干涉儀在使用方面也是有要領(lǐng)的

更新時間:2022-08-27點(diǎn)擊次數(shù):967
 
  激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。
  激光干涉儀的原理是建立在塞曼效應(yīng)、牽引效應(yīng)和多普勒效應(yīng)的基礎(chǔ)之上的。在全內(nèi)腔He-Ne激光器上加約0.03T的軸向磁場,由于塞曼效應(yīng)和牽引效應(yīng),發(fā)出一束含有兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光,它們的頻率差大約是1.5MHz左右。這束光經(jīng)1/4波片之后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)平行光管準(zhǔn)直和擴(kuò)束。從平行光管出來的這束光經(jīng)過析光鏡反射出一小部分作為參考光束通過45°放置的檢偏器。并由馬呂斯定律可知,兩個垂直方向的線偏振光在45°方向上投影,形成新的線偏振光并產(chǎn)生拍頻。這個拍頻頻率恰好等于激光器所發(fā)出的兩個光頻的差值即(f1-f2),約為1.5MHz。經(jīng)光電元件接受進(jìn)入前置放大器和計算機(jī)。
  激光干涉儀的使用要領(lǐng):
  1、激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人專用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。
  2、激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
  3、對激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動,安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。
  4、激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量,此時檢測結(jié)果將收到很大的影響。

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