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光學(xué)輪廓儀其主要功能分別是什么

更新時(shí)間:2021-08-23點(diǎn)擊次數(shù):1045
 
  光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過(guò)儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的,是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀,且測(cè)量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測(cè)表面容易被觸針劃傷,為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測(cè)量壓力。
  光學(xué)輪廓儀的主要功能:
  1、共聚焦
  共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí),共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。專的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。
  2、干涉
 ?、傧辔徊罡缮?PSI)
  相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。
 ?、诎坠飧缮?VSI)
  白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。
  3、多焦面疊加
  多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn),特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。
  4、薄膜測(cè)量
  用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測(cè)量。Sneox在增加了分光反射計(jì)后可以測(cè)量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過(guò)顯微鏡頭測(cè)量,最小的測(cè)量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源,所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測(cè)量能同時(shí)進(jìn)行。

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