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以下便是雙頻激光干涉儀的主要結(jié)構(gòu)組成部分

更新時(shí)間:2023-10-25      點(diǎn)擊次數(shù):507
  雙頻激光干涉儀是一種常用的實(shí)驗(yàn)室儀器,可以用于測(cè)量長(zhǎng)度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束,通過(guò)干涉產(chǎn)生干涉條紋來(lái)進(jìn)行測(cè)量。在激光干涉儀中,激光源會(huì)發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束,其中一個(gè)激光束為參考光,另一個(gè)激光束則被用來(lái)測(cè)量待測(cè)物體的位移或形變。這兩束激光束會(huì)經(jīng)過(guò)分束器和反射鏡,最終在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉信號(hào)。
  雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線(xiàn)度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。
  以下是雙頻激光干涉儀的主要結(jié)構(gòu)組成部分:
  1、激光器:使用兩個(gè)激光器作為光源,分別發(fā)射具有不同頻率的激光束。這些激光器通常是穩(wěn)定的單縱模激光器,能夠提供相干性良好的激光光源。
  2、光路系統(tǒng):光路系統(tǒng)用于引導(dǎo)和控制激光束的傳輸和干涉。它通常包括光束分束器、反射鏡、透鏡、干涉儀等光學(xué)元件。光路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和調(diào)整對(duì)于保證干涉儀的穩(wěn)定性和精度至關(guān)重要。
  3、干涉儀:干涉儀是核心部分,用于實(shí)現(xiàn)激光的干涉效應(yīng)。常見(jiàn)的干涉儀結(jié)構(gòu)包括馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x(Michelson Interferometer)、擴(kuò)展馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x(Michelson-Morley Interferometer)等。干涉儀通過(guò)將兩束激光束進(jìn)行干涉,產(chǎn)生干涉條紋,從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量。
  4、探測(cè)器:探測(cè)器用于檢測(cè)干涉儀中的干涉信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。常用的探測(cè)器包括光電二極管、光電倍增管、光電探測(cè)器等。探測(cè)器的選擇和性能對(duì)于測(cè)量的靈敏度和精度具有重要影響。
  5、信號(hào)處理系統(tǒng):信號(hào)處理系統(tǒng)用于接收、放大和處理探測(cè)器輸出的電信號(hào)。它通常包括放大器、濾波器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器等。信號(hào)處理系統(tǒng)能夠提取干涉信號(hào)中的有用信息,并進(jìn)行數(shù)字化處理和分析。
  6、控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)用于控制激光器、光路系統(tǒng)和信號(hào)處理系統(tǒng)的工作。它可以通過(guò)調(diào)節(jié)激光器頻率、干涉儀光程差等參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量過(guò)程的控制和調(diào)整。
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